半導體晶片熱壓定型石墨模具潔淨工藝

半導體晶片、精密陶瓷晶片的高溫熱壓定型，對工裝潔淨度、放氣量、溫度均勻性有著行業最高標準，普通石墨模具因含雜質、放氣量大、易掉粉，會直接造成晶片表麵針孔、霧化、雜質汙染、電學性能失效，無法用於半導體精密製程。半導體專用石墨模具必須采用超高純、低析出、無塵加工的定製工藝，是高端半導體製造的核心配套耗材。

半導體晶片石墨模具選用99.99%以上超高純石墨原料，灰分控製在ppm級別，杜絕金屬雜質析出；毛坯經過2000℃以上高溫石墨化、真空除氣淨化處理，徹底消除內部吸附水汽、揮發性有機物，真空工況下放氣量極低，不會破壞爐膛真空度、汙染晶片表麵。模具全程千級無塵車間加工，密閉切削、負壓除塵、超聲波清洗，表層無浮塵、無嵌入微粉，從源頭杜絕二次汙染。

模具型腔平麵度、平行度微米級把控，熱壓過程中晶片受力均勻、受熱一致，定型平整無翹曲，晶片晶格結構穩定、性能均勻。根據晶片尺寸可定製單工位與多陣列批量模具，合理排布散熱與排氣結構，避免高溫閉氣導致的晶片分層、鼓包不良，適配半導體真空熱壓、退火定型全工序。

東莞市麻豆操逼视频石墨製品有限公司專業生產半導體晶片定型高純石墨模具，全套無塵加工、高溫除氣、精密拋光工藝，成品高潔淨、低放氣、尺寸超穩，完全滿足半導體精密製程標準，可完美替代進口高端石墨模具。